产品名称: GZK17高真空直线运动平台真空度1x10^(-10)mBar温度150°配置定价

规格:

跟销售索要产品外形图 ，价格根据配置定
产品特点：

•多行程可选

•分辨率5μm（-HR型为1μm），重复定位精度优于0.5μm 

•适用于1 x 10 •适用于1 x 10-10-10 mBar mBar

•标品采用超高压预制铝结构，不锈钢结构可选-SS型

•最高耐受温度最高耐受温度可达150°C（-SS型为200°C）可达150°C（-SS型为200°C）

•标配AML D35.1步进电机，可选择配置限位开关和编码器

•提供高分辨率、抗辐射和干润滑版本

•可根据具体要求进行定制

产品参数：

规格	GZK17-X-050	GZK17-X-100	GZK17-X-150	GZK17-X-200
行程	50mm	100mm	150mm	200mm
分辨率	5m(VSM17-X-xxx-HR为1um)
最大速度	15 mm/s(VSM17-X-xxx-HR为5   mm/s)
重复定位精度	0.5 μ m
水平中心负载	50 kg
最大负载力矩	30 Nm
竖直负载 @500   Hz/s 1000 Hz 1A/ 相	15 kg
背隙	低于分辨率
翻转 &俯仰   & 偏摆	±48 μ rad	±90 μ rad	±80 μ rad	±70 μ rad
力矩刚性-翻转   &俯仰 & 偏摆	16 μ rad/Nm	32 μ rad/Nm	29 μ rad/Nm	26 μ rad/Nm
运动直线度	3 μ m/100 mm
导程精度	0.027/100 mm
步进电机	AML D35.1
真空度	1x10^(-10)mBar
最高耐受温度	150°C(-SS为200°C)(安装光学编码器时降至120°C)
平均无故障时间	15000 小时(5 kg 负载和 30% 工作循环)
自重(标准型)	1kg	1.6kg	2.1kg	2.7kg
自重(-HR 型)	2.2kg	4.4kg	6kg	8kg

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